机床所自成立以来积极承担国家和部委的科技攻关任务和行业工作，许多成果达到国际水平和国内领先水平。科技成果获国家科技进步奖一等奖1项、二等奖2项、国际发明奖2项，国家发明奖9项，部级奖励300余项。
（Ф50～60 mm）为0.1μm。该项成果解决了批量生产条件下超精密加工的精度稳定等关键问题，
获国家科技进步二等奖。